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净化工程中空气净化处理方案

●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚空气过滤器代空气过滤器。

●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。中效、亚、空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。

提高设备水平

设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以洁净车间除了合理布局外，提高设备的自动化水平和组成联动的生产线，以减少操作人员，降低人员的活动频率，是防止交叉污染的必要措施。

分设洁净车间空调净化系统

洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。对β-内酰胺类、避孕***、强毒微生物等的工作室，应设置空调净化系统，其排风口应安装过滤设备，以将这些药的污染降至低限度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净车间，被排介质毒性大的、，应单独设局部排风系统。洁净车间的排风口应有防倒灌装置。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。送风、回风和排风的启闭应有连锁装置。

洁净厂房也称净化厂房或无尘厂房，是指有空气净化要求或已经装修了空气净化工程的用来生产、制造、加工工业厂房或制造、包装、生产场所，也可泛指无尘车间或无尘间、无尘房、无尘室等等。

洁净室厂房相对无尘车间、洁净室来说，其体积量通常比较大，有时通常是指净化工程在工业厂房的所有应用，洁净厂房是空气无尘净化工程中的一个应用很广泛的项目。

净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。

洁净室容量体积相对较大，故洁净厂房基本应用在上述净化应用行业中生产、储藏、检测、实验、化验等工序之中。