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静电式净化

工作原理：采用高压静电吸附除尘工作原理。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，产生电晕放电，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后释放电荷。

缺点：可去除飘尘（不能去除有***体），效能比机械式低、慢，而且易产生臭氧，此机型被美国市场评为差净化器。

光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生***学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于优势地位。

参与洁净室项目的朋友可能不了解净化项目的组成系统。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿（因为夏季室外空气是高温、高湿的），冬季要加热加湿（因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的）。 目前尚不清楚哪种系统组件主要用于净化工程系统。 以下简要介绍净化工程系统的主要组成部分。 通过本文的介绍，我希望我的朋友能够理解净化项目。净化工程的主要组成部分有六个部分：地面系统，风道系统，自动控制系统，电气系统，给排水系统和空气过滤系统。

自动控制系统：

包括温度控制，温度控制，风量风压控制，开启顺序和时间控制;电气系统：照明，电力和弱电，包括净化灯，插座，电气柜，线路，监控，电话等强弱系统;给排水系统：供水，排水管道，设施和控制装置;地面系统：环氧树脂通常用于清洁地面。

选择满足净化车间特点的建筑构造和材料

净化工程在设计时，工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，其特点为美观、刚性强。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材。地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板，不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间专用灯具。

划分和布置空调净化和排风系统，选择合理的空气净化通风设备

设计净化系统***的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级，增加一级过滤器。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。