洁净厂房设计与施工-洁净厂房设计-鲁鑫设备公司(查看)

洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，洁净厂房设计***，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产合适湿度范围为35—45%。

净化工程中空气净化处理方案

●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、***空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚***空气过滤器代***空气过滤器。

●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；***空气过滤器或亚***空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，***空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚***、***空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的***空气过滤器宜设置在同一净化车间内。

生活中***受到大家关注的问题就是食品及***的安全问题，洁净厂房设计，在近几年的时间，有许多的食品、***安全事件频频遭到***，与之相关的各类销售市场渐渐呈现出了低迷的发展迹象。为了能更有效解决这一问题，给民众带来安心，我国各大食品与***生产企业，都开始加大了无菌净化车间的建设。所以净化工程公司无疑就成为了食品与***生产企业，***为有力的“安全建设卫士”!

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