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2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 ***送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。

缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。

特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

净化工程中空气净化处理方案

●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，半导体洁净厂房工程，均应采用初效、中效、***空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，洁净厂房工程，可采用亚***空气过滤器代***空气过滤器。

●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；***空气过滤器或亚***空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，***空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚***、***空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的***空气过滤器宜设置在同一净化车间内。

单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。在生物***产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等来满足产品生产工艺的要求。在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线，甚至数条生产线的主要工序均需设置在严于5级的洁净室内，洁净工程设计，才能达到产品生产的要求。为此，建筑洁净厂房工程，单向流洁净室的空间布置己从 “单层”布置发展到“多层”布置。“单层”布置的单向流洁净厂房，在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层，在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线，通过设在顶棚上的***过滤器向洁净生产区均匀送风；通过设在下技术夹层的回风地板回风至空气处理装置。“多层”布置的单向流洁净厂房的主要特点是将洁净生产区与供应产品生产工艺所需的各类公用动力管线、产品生产工艺管线及工艺辅助设施等都布置在下技术夹层（底层）内，同洁净生产区分层布置。



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